История кафедры "Физико-технические проблемы метрологии" начинается с создания Центра коллективного пользования «Центр аналитического обеспечения разработок функциональных наноматериалов» (ЦКП НИЯУ МИФИ), который берет свое начало с 1 марта 1980 года. По приказу ректора МИФИ В.М. Колобашкина №35 от 29.01.1980 "в соответствии с постановлением ЦК КПСС и Совета Министров СССР от 6 апреля 1978 г. №271 "О повышении эффективности научно-исследовательской работы в ВУЗах" и с целью широкого использования современных методов анализа в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах, проводимых в подразделениях института, а также повышения эффективности эксплуатации дорогостоящего оборудования была организована Межкафедральная аналитическая лаборатория МИФИ. Становление Межкафедральной аналитической лаборатории МИФИ и ее дальнейшая успешная научная деятельность стали возможны благодаря слаженному и нацеленному на результат высококвалифицированному коллективу. Значительную роль в истории лаборатории сыграл ее первый и единственный руководитель – энергичный и талантливый ученый, Лауреат премии за достижения в области науки и техники (МинВУЗ СССР, 1971) доктор физико-математических наук, профессор Троян Виктор Иванович.
Троян Виктор Иванович - один из основателей кафедры. В 2003 г. по согласованию с Минпромнауки РФ на базе Межкафедральной аналитической лаборатории МИФИ был организован Центр коллективного пользования "МАЛ", в рамках которого проводились активные научные исследования в сотрудничестве с кафедрами Молекулярной физики, Физики твердого тела, Физики плазмы, Микроэлектроники, РУЦ и др. с целью широкого использования современных методов анализа в научно-исследовательских работах, проводимых в подразделениях университета, повышения эффективности эксплуатации дорогостоящего оборудования, а также объединения усилий ученых НИЯУ МИФИ по разработке функциональных наноматериалов.
В 2009 году, на базе центра коллективного пользования "МАЛ" и научно-учебной лаборатории сверхвысоковакуумной сканирующей зондовой микроскопии, а также, научно-образовательного центра по направлению "Нанометрология", приказом ректора МИФИ М.Н. Стриханова №54 от 20.02.2009 г. была создана кафедра "Физико-технические проблемы метрологии" (№78)".
Миссией кафедры стала подготовка специалистов для:
Важным этапом стало непосредственное сотрудничество кафедры с ФГУП "Всеросийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений" (ФГУП ВНИИФТРИ). Благодаря данному сотрудничеству, продолжающемуся и по настоящий момент, ведутся совместные научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, в которых участвуют как сотрудники, так и студенты кафедры. С 2017 г. по 2022 г. заведующим кафедрой был член-корреспондент Российской Академии Наук, д.ф.-м.н., профессор Колачевский Николай Николаевич. В этот же период налажено тесное сотрудничество как по научной, так и по образовательной части с Физическим институтом имени П.Н. Лебедева РАН, продолжающееся по настоящее время.
С 2023 года заведующим кафедрой № 78 "Физико-технические проблемы метрологии" является доктор физико-математических наук Борисюк Петр Викторович. Кафедра расширяет свое сотрудничество с Физическим институтом имени П.Н. Лебедева РАН, ФГУП ВНИИФТРИ, активно идет взаимодействие с иностранными высшими учебными заведениями и исследовательскими центрами. За время существования кафедры было подготовлено более 100 выпускников, большинство из которых трудоустроены в ведущие научно-исследовательские центры Российской Федерации, среди которых: ФИАН, ФГУП ВНИИФТРИ, Российский квантовый й центр, РФЯЦ-ВНИИЭФ и пр.