Троян Виктор Иванович - один из основателей кафедры. В 2003 г. по согласованию с Минпромнауки РФ на базе Межкафедральной аналитической лаборатории МИФИ был организован Центр коллективного пользования "МАЛ", в рамках которого проводились активные научные исследования в сотрудничестве с кафедрами   Молекулярной физики, Физики твердого тела,  Физики плазмы, Микроэлектроники, РУЦ и др. с целью широкого использования современных методов анализа в научно-исследовательских работах, проводимых в подразделениях университета, повышения эффективности эксплуатации дорогостоящего оборудования, а также объединения усилий ученых НИЯУ МИФИ по разработке функциональных наноматериалов.

В 2009 году, на базе центра коллективного пользования "МАЛ" и научно-учебной лаборатории сверхвысоковакуумной сканирующей зондовой микроскопии, а также, научно-образовательного центра по направлению "Нанометрология", приказом ректора МИФИ М.Н. Стриханова №54 от 20.02.2009 г. была создана кафедра "Физико-технические проблемы метрологии" (№78)".

Миссией кафедры стала подготовка специалистов для:

• Разработки фундаментальных основ метрологии наночастиц, включая создание научной базы обеспечения единства измерений параметров наночастиц;
• Определение характеристик нанобъектов;
• Разработки методов и средств метрологического обеспечения измерений, включая создание эталонов свойств и параметров наночастиц и нанообъектов;
• Разработки метрологического обеспечения измерений акустических, механических и пьезоэлектрических параметров наноматериалов и контроля качества углеродных волокон, необходимых для производства углеродных композитов атомной техники;
• Проведения фундаментальных и прикладных исследований в области физики поверхности твердого тела и наноструктур, обеспечения единства измерений параметров наночастиц, акустических, механических и пьезоэлектрических параметров наноматериалов, оценке соответствия и безопасности в наноиндустрии.

Важным этапом стало непосредственное сотрудничество кафедры с ФГУП "Всеросийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений" (ФГУП ВНИИФТРИ). Благодаря данному сотрудничеству, продолжающемуся и по настоящий момент, ведутся совместные научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, в которых участвуют как сотрудники, так и студенты кафедры. С 2017 г. по 2022 г. заведующим кафедрой был член-корреспондент Российской Академии Наук, д.ф.-м.н., профессор Колачевский Николай Николаевич. В этот же период налажено тесное сотрудничество как по научной, так и по образовательной части с Физическим институтом имени П.Н. Лебедева РАН, продолжающееся по настоящее время. 

С 2023 года заведующим кафедрой № 78  "Физико-технические проблемы метрологии" является доктор физико-математических наук Борисюк Петр Викторович. Кафедра расширяет свое сотрудничество с Физическим институтом имени П.Н. Лебедева РАН, ФГУП ВНИИФТРИ, активно идет взаимодействие с иностранными высшими учебными заведениями и исследовательскими центрами. За время существования кафедры было подготовлено более 100 выпускников, большинство из которых трудоустроены в ведущие научно-исследовательские центры Российской Федерации, среди которых: ФИАН, ФГУП ВНИИФТРИ, Российский квантовый й центр, РФЯЦ-ВНИИЭФ и пр.