| Система анализа поверхности с модулем ИЛО и квадрупольным масс-спектрометром XSAM-800, SIM-2000 |  |
 |
Сверхвысоковакуумный комплекс анализа поверхности MULTIPROBE MXPS RM VТ AFM-25 |
| Растровый электронный микроскоп с рентгеновским энергодисперсионным анализатором Opton DSM-960 |  |
 |
Источник осаждения нанокластеров с квадрупольным масс-фильтром Mantis Nanogen-50 |
| Оборудование по стандартам времени и частоты
|
 |
