ИСТОЧНИК ОСАЖДЕНИЯ НАНОКЛАСТЕРОВ С КВАДРУПОЛЬНЫМ
МАСС-СПЕКТРОМЕТРОМ NANOGEN-50
Источник осаждения нанокластеров Nanogen-50
Метод генерации нанокластеров — Газовая конденсация, катодное распыление при высоком давлении Размер мишени (катода) — 2 дюйма (диаметр) Размеры нанокластеров — Диаметр от 1 нм до 15 нм в зависимости от материала — Распределение нанокластеров по размерам Требования к потоку несущего газа — Ar: до 100 см3/мин (стандартное значение 15 см3/мин). He: до 100 см3/мин (стандартное значение 5 см3/мин). Скорость осаждения — < 6 Å/сек

Квадрупольный масс-спектрометр MesoQ
Диапазон анализируемых масс — От 2 а.е.м. до 1*106 а.е.м., разрешение +/- 2% Длина волны встроенного оптического спектрометра — 200-850 нм
Примеры экспериментальных результатов:
Нанокластерные пленки тантала и молибдена — перспективные высокоэффективные термоэлектрические материалы