ИСТОЧНИК ОСАЖДЕНИЯ НАНОКЛАСТЕРОВ С КВАДРУПОЛЬНЫМ

МАСС-СПЕКТРОМЕТРОМ NANOGEN-50

nanogen

Источник осаждения нанокластеров Nanogen-50

Метод генерации нанокластеров — Газовая конденсация, катодное распыление при высоком давлении Размер мишени (катода) — 2 дюйма (диаметр) Размеры нанокластеров — Диаметр от 1 нм до 15 нм в зависимости от материала — Распределение нанокластеров по размерам Требования к потоку несущего газа — Ar: до 100 см3/мин (стандартное значение 15 см3/мин). He: до 100 см3/мин (стандартное значение 5 см3/мин). Скорость осаждения — < 6 Å/сек

nanogen_scheme
Схема кластерного источника Nanogen-50 cо встроенным масс-спектрометром MesoQ (Mantis Deposition, Великобритания)

Квадрупольный масс-спектрометр MesoQ

Диапазон анализируемых масс — От 2 а.е.м. до 1*106 а.е.м., разрешение +/- 2% Длина волны встроенного оптического спектрометра — 200-850 нм

 

Примеры экспериментальных результатов:

Нанокластерная пленка молибдена на поверхности оксида кремния
Нанокластерная пленка тантала на поверхности оксида кремния

Нанокластерные пленки тантала и молибдена — перспективные высокоэффективные термоэлектрические материалы