Это слайд-шоу требует JavaScript.

Описание установки

Сверхвысоковакуумный комплекс анализа поверхности MULTIPROBE MXPS, включая сверхвысоковакуумный микроскоп VT AFM 25 DRH с системой управления, сбора и обработки данных.

СВВ КОМПЛЕКС Multiprobe MXPS RM VТ AFM-25 включает в себя:

Сверхвысоковакуумную установку MULTIPROBE MXPS RM

omicron1

Специальная конфигурация двухкамерной сверхвысоковакуумной установки анализа поверхности для сканирующей зондовой микроскопии высокого разрешения, с аналитической камерой для многофункционального анализа методами SPM, XPS, MONO XPS, UPS, ISS, AES, с отдельной камерой эпитаксиального роста тонких пленок. Камера укомплектована высокоточным манипулятором с возможностью радиационного нагрева образца до температуры 9000С. Манипулятор обеспечивает вращение образца на 360°, перемещение по координатам x/y = ±8мм, z = 150mm.

Микроскоп VT AFM 25 DRH с управляющей системой MATRIX

Сверхвысоковакуумный микроскоп AFM/STM с возможностью изменения температуры для нагрева или охлаждения образца при проведении SPM измерений. Микроскоп оборудован проточным гелиевым/азотным криостатом для работы при температурах до 25К, с применением встроенного устройства термопередачи к столику микроскопа, используя медные ленты и специальные зажимы. Радиационный или токовый нагрев выбирается для достижения температурных диапазонов от 25К до 750К или от 25К до 1500К соответственно. Микроскоп монтируется на фланце NW 200 CF (10″ OD) через устройства подавления вибраций вихревыми токами. Инерционные пьезо-моторы обеспечивают «грубое» перемещение зонда по трем осям в диапазоне 10мм x 10мм x 10мм с последовательно изменяемым шагом от 40нм до 500нм, однотрубный сканер осуществляет сканирование области 10μм x 10μм x 1.2μм. Смена зонда осуществляется дистанционно. Работа микроскопа в атомно-силовом режиме осуществляется в режиме регистрации отклонения луча при сканировании зондом/кантилевером. Обеспечены следующие режимы AFM работы: контактный режим с регистрацией нормальных или латеральных сил, бесконтактный режим: микроскопия электронных сил, магнитно-силовая микроскопия, метод зонда Кельвина. Сверхвысоковакуумный гибридный преобразователь для STM обеспечивает туннельный ток в диапазоне 1пкA – 300нА с внутренним переключателем диапазонов, компенсацией нуля, фильтров для снижения уровня шумов.

 

SPHERA U7, полусферический электронный спектрометр с 7 канальной системой регистрации

Полусферический электронный спектрометр для ЭСХА и Оже-приложений. Многоэлементная линза позволяет анализировать участки диаметром до < 70μм с электростатическим детектором для определения положения анализируемой области. Конструкция обеспечивает 180° геометрию двойной фокусировки, 125мм средний радиус.

DAR 400 рентгеновский источник

Двуханодный (Al/Mg) рентгеновский источник 15кВ, 400Вт.

EFM 3-EVC 300

Устройство электронно-лучевого испарения для суб-монослойного и мультислойного роста тонких пленок на образцах от 5 до 20мм диаметром.

 

FIG-5 CE ионный источник

Ионный источник с фокусировкой для высокоэффективного травления и нейтрализации заряда. Источник FIG-5 CE обеспечивает пятно фокусировки < 150мкм диаметром и плотность тока > 2мA /см² при 5кВ напряжения пучка, ток > 50нA для эффективной нейтрализации заряда в XPS и AES приложениях при энергии пучка 10эВ. Управляющая электроника обеспечивает растровую область 8мм x 8мм.

Примеры экспериментальных данных: