РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП DSM-960 С РЕНТГЕНОВСКИМ ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННЫМ АНАЛИЗАТОРОМ
Возможности (назначение):
Исследование морфологии поверхности методом растровой электронной микроскопии. Исследование элементного состава образцов методом рентгеновского энергодисперсионного микроанализа.
Области применения:
Анализ морфологии поверхности образцов, тонких пленок. Исслелование дефектов интегральных микросхем. Проведение экспресс-анализа элементного состава образцов.
Основные технические характеристики:
РЭМ: чувствительность S~0.1%, разрешение по поверхности Ls~100 нм, разрешение по глубине Lh~1 мкм; ускоряющее напряжение 2-25 кВ
Примеры экспериментальных результатов: