РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП DSM-960 С РЕНТГЕНОВСКИМ ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННЫМ АНАЛИЗАТОРОМ

Это слайд-шоу требует JavaScript.

Возможности (назначение):

Исследование морфологии поверхности методом растровой электронной микроскопии. Исследование элементного состава образцов методом рентгеновского энергодисперсионного микроанализа.

Области применения:

Анализ морфологии поверхности образцов, тонких пленок. Исслелование дефектов интегральных микросхем. Проведение экспресс-анализа элементного состава образцов.

Основные технические характеристики:

РЭМ: чувствительность S~0.1%, разрешение по поверхности Ls~100 нм, разрешение по глубине Lh~1 мкм; ускоряющее напряжение 2-25 кВ

Примеры экспериментальных результатов:

Это слайд-шоу требует JavaScript.